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一、企业介绍： 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司创立于 2013 年，2026 年于上海证券交易所科创板上市 ，是国内领先的大规模集成电路晶圆前道薄膜沉积、等离子体刻蚀、光刻、去胶、离子注入及键合等设备的核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、气体流体精密控制，真空获得与计量零部组件的设计、研发、生产、销售及技术服务。 公司是国内技术领先、实现大批量产品交付的等离子体射频电源系统企业，产品批量交付国内龙头装备厂商拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等，并配套中芯国际等国内头部晶圆厂。
联系信息
企业官网www.csl-vacuum.com
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工商信息
- 公司名称： 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
- 法人代表： 乐卫平
- 注册资本： 6770.1688万人民币
- 经营状态： 存续
- 企业类型： 其他股份有限公司(上市)
- 所属行业： 其他制造业
- 成立时间： 2013年03月19日
- 统一社会信用代码： 91440300064958517E
- 注册地址： 深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101，201，301
- 公司地址： 深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101，201，301
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经营范围：
一般经营项目：半导体器件专用设备制造；电子专用设备制造；机械电气设备制造；货物进出口；半导体器件专用设备销售；电子专用设备销售；机械电气设备销售；泵及真空设备销售；工业自动控制系统装置销售；电力电子元器件销售；电子测量仪器销售；成品油批发（不含危险化学品）；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；技术进出口；机械零件、零部件销售；实验分析仪器销售；气体、液体分离及纯净设备销售；密封件销售；阀门和旋塞销售；仪器仪表销售；电子元器件零售；仪器仪表修理；通用设备修理；专用设备修理；泵及真空设备制造；工业自动控制系统装置制造；通用零部件制造；输配电及控制设备制造；实验分析仪器制造；气体、液体分离及纯净设备制造；电力电子元器件制造；仪器仪表制造；电子测量仪器制造。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）许可经营项目：无。
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