1. 岗位职责
负责Local Scrubber设备废气处理工艺的开发与优化，包括燃烧式（Burn-type）、水洗式（Wet-type）、等离子式（Plasma-type）、干式吸附式（Dry Adsorption）等不同技术路线；
设计工艺实验方案，搭建测试平台，开展废气处理效率、能耗、副产物等关键指标测试；
分析半导体制造工艺（刻蚀、薄膜沉积等）排放废气的成分及特性，优化废气处理工艺参数；
协助机械、电气团队完成设备性能优化和可靠性提升；
编制工艺技术规范、测试报告及客户应用指南；
参与产品认证及行业标准制定相关工作；
跟踪国内外废气处理前沿技术，提出技术创新方向建议。
2. 任职资格
化学工程、环境工程、材料科学与工程等相关专业，本科及以上学历；
3年以上半导体废气处理设备工艺研发经验，熟悉燃烧式、等离子式、干式吸附式等技术中的至少两种；
熟悉半导体制造工艺（刻蚀、CVD等）产生的废气成分（PFCs、VOCs、酸性气体等）及其特性；
具备实验设计（DOE）能力和数据分析能力；
了解FTIR、GC-MS等气体分析仪器原理及应用；
了解SEMI标准及相关环保法规；